Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Разработки по ТЗ

Ввод вращения ТВРМ.305319.005

магнитножидкостный

Разработан для применения в технологическом оборудовании электронной и химической промышленности. Предназначен для передачи вращения во внутрь вакуумных реакторов (камер) и реакторов с избыточным давлением до 1,1 атм с неагрессивными газами. Частота вращения вала – до 1500 об/мин, натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с, остаточное давление в реакторе не хуже 10-5 Па (избыточное давление – до 1,1*105 Па), рабочая температура до 80 0С, корпус и вал выполнены из нержавеющей стали, способ крепления привода/нагрузки к валу ввода вращения - шпоночное. Срок службы ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением ТВРМ.305319.005 составляет 10 лет.

Ввод вращения охлаждаемый АП 45.000.00

охлаждаемое магнитожидкостное уплотнение

Разработан для передачи вращения от двигателя на планетарную карусель вакуумной напылительной установки. Поскольку во время напыления карусель с подложкодержателями нагревается до значительных температур - корпус ввода вращения выполнен водоохлаждаемым, способ разграничения сред - магнитожидкостное уплотнение.

Ввод вращения АП 34.000.00

Ввод вращения с полым валом, динамический ввод

Изготовлен по техническим требованиям заказчика для применения в составе технологического испытательного стенда имитирующего условия космического вакуума. Ввод вращения имеет два контура магнитожидкостных уплотнений и выполнен с полым валом, что позволяет подавать технологический газ непосредственно в испытываемый образец, закрепленный на валу в условиях вакуума. Конструкция магнитожидкостных уплотнений ввода вращения разработана с учетом требований к высокой частоте вращения вала. Способ крепления ввода вращения к вакуумной камере - фланцевое. Подача технологического газа осуществляется через резьбовой штуцер в корпусе ввода.

Характеристики ввода вращения АП 34.000.00:
- рабочая частота вращения 6000 об/мин;
- максимальная частота вращения (кратковременно, до 5 с) 16000 об/мин;
- температура эксплуатации от +15°C до +30°C;
- натекание по гелию не более 10-11 м3Па/c.

Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00

привод вакуумный, привод с мжу, охлаждение подложкодержателя

Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00 (конструкторская документация ТВРМ.305314.001) предназначен для вращения подложкодержателя установки напыления методом вакуумного термического испарения.

Особенностью конструкции данного привода является полый вал, внутри которого циркулирует охлаждающая жидкость, таким образом теплоотвод осуществляется непосредственно от торца вала, расположенного в вакуумной части камеры.

Вакуумный ввод вращения АП 36.000.00

Магнитожидкостное уплотнение, МЖУ, герметизация вала в вакуум

Ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для эксплуатации в составе вакуумного электронно-лучевого оборудования.

Вакуумный ввод вращения АП 24.000.00

вакуумный ввод, вакуумное уплотнение

Вакуумный ввод вращения разработан по техническим требованиям заказчика для установки напыления плёнок методом термического вакуумного испарения.
Цель применения - вращение заслонки тигля (лодочки) в вакуумной камере.

Ввод вращения АП 17.000.00

Вакуумный ввод вращения, МЖУ Аперон

Разработан для применения в реакторах специального технологического оборудования (вакуумных установках) и предназначен для передачи вращения в активную зону реактора при сохранении высокой степени герметизации подвижного соединения.

Привод вращения АП 08.400.00

Ввод вращения в вакуум, магнитожидкостный привод, МЖУ АП 08.400.00

Магнитожидкостный привод вращения АП 08.400.00 разработан и изготовлен в соответствии с техническими требованиями заказчика. Предназначен для вращения карусели в вакуумной камере технологического оборудования. Вращение привода обеспечивает бесколлекторный мотор-редуктор IG-80WGM-i117 под управлением блока BLSD-20.

Ввод вращения охлаждаемый АП 09.100.00

Ввод вращения в вакуум, МЖУ охлаждаемый, уплотнение охлаждаемое

Предназначен для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных при повышенных температурах в реакторе с сохранением герметичности подвижного соединения. Изделие представляет собой составную цилиндрическую конструкцию, объединяющую магнитожидкостное уплотнение и блок охлаждения.

Привод вращения охлаждаемый APR-08-100

охлаждаемое МЖУ, вакуумный привод

Предназначен для вращения изделия в вакуумной камере в процессе вакуумно-дугового нанесения покрытий.

Для исключения передачи тепловой нагрузки, возникающей во время напыления, в приводе реализовано охлаждение вала.