Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Оборудование

Установка гидрирования лабораторная Aperon 12.200

Реактор высокого давления

Установка Aperon 12.200 предназначена для отработки технологического режима процесса гидрирования нефтеполимерных смол в научно-экспериментальных целях.

Состав установки:

- реактор автоклавного типа высокого давления с перемешивающим устройством;
- станина со стойкой вертикального перемещения (стенд);
- система измерения и управления.

Реактор высокого давления представляет собой вертикальный аппарат цилиндрической формы, состоящий из герметичного корпуса и съёмной крышки для обеспечения загрузки/разгрузки реагентов и продуктов реакции.

Установка РИТ "Крукс"

ПХТ, РИТ, 08ПХО, 08ПХТ

Установка «КРУКС» относится к категории специального технологического оборудования микроэлектроники и предназначена для проведения процессов реактивного ионного травления (РИТ) полупроводниковых структур (тонких диэлектрических слоёв, полимерных и металлических плёнок) в плазме емкостного ВЧ-разряда химически активных газов.
Принцип действия установки основан на ионной бомбардировке поверхности материала (так называемое «сухое травление»), с последующим удалением образовавшихся летучих соединений из объёма реактора.
Тип реактора установки: РИТ
Диаметр обрабатываемых полупроводниковых пластин: 300мм/1шт, или 200мм/1шт, или 150мм/3шт, или 100мм/7шт.
Управление полуавтоматическое.