Уплотнение магнитожидкостное АП 16.000.00 | ООО «Аперон» - конструкторское бюро электронного машиностроения
Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Уплотнение магнитожидкостное АП 16.000.00

МЖУ Аперон, магнитное уплотнение

Разработано для вращения подложкодержателя Установки магнетронного напыления многослойной металлизации.
Через полый вал магнитожидкостного уплотнения к подложкодержателю подаётся электропитание, обеспечивающее как нагрев поверхности подложки (полупроводниковой пластины) до 350оС, так и очистку подложек в плазме высокочастотного разряда. Для равномерности нанесения тонких плёнок магнитожидкостное уплотнение обеспечивает вращение подложкодержателя в камере реактора.
Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.

Прикрепленный файлРазмер
AP_16.000.00VO_Vvod_vrashcheniya.PDF74.27 кб