Уплотнение магнитожидкостное APR-SE-COAX 12/15-48/34 | ООО «Аперон» - конструкторское бюро электронного машиностроения
Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Уплотнение магнитожидкостное APR-SE-COAX 12/15-48/34

вакуумный ввод вращения, соосный МЖУ

Коаксиальный двухвальный ввод вращения (выполнен по соосной схеме).
Разработан под конструктив транспортной системы заказчика и обеспечивает передачу вращательных движений от приводов к загрузчику вакуумной камеры, тем самым обеспечивая радиальное и прямолинейное перемещение манипулятора при транспортировке кремниевых пластин из шлюза в технологический модуль. Применим в кластерных установках.

Характеристики МЖУ:

-диаметр центрального вала (атмосфера/вакуум): 12/15мм;
-диаметр радиального вала (атмосфера/вакуум): 48/34мм;
-предельное давление в технологическом и шлюзовом модулях: 1*10-6Па;
-угловая скорость вращения центрального и радиального валов 20 об/сек;
-натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.