МЖУ АП 08.400.01

Магнитожидкостное уплотнение в вакуумную камеру установки магнетронного напыления.
Обеспечивает передачу вращения на карусель с напыляемыми пластинами.

МЖУ разработано с учётом конструктивных особенностей существующей вакуумной установки в качестве замены манжетного уплотнения, что позволило снизить натекание в рабочую камеру и увеличить ресурс уплотнения.

Характеристики:

-давление в шлюзовой камере не более 1*10^-5 Па;

-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 10/17мм со шлицем 11мм;

-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 16мм;

-натекание по гелию не более 10^-12 м³Па/с.