АнОкс для электронного машиностроения

Оказываем услуги по плотному (до 50 мкм) анодированию деталей установок плазмохимического травления, камер и реакторов из сплавов на основе алюминия -Д16, АМг6, В95 и прочих.

Плотное анодирование или, как часто употребляется, плотное анодное оксидирование представляет собой процесс формирования оксидной плёнки Al₂O₃ на поверхности алюминия. Причём, процесс плотного анодирования происходит в режиме отрицательных температур. Именно поэтому, иногда, плотное анодное оксидирование называют холодным анодным оксидированием или холодным аноксом.
Получаемая при этом плёнка является не чем иным, как защитным керамическим слоем, обеспечивающим защиту алюминиевых деталей от химически активных частиц плазмы.
Плотное анодирование реакторов установок плазмохимического травления позволяет снизить коэффициент рекомбинации атомов на стенках реакторов.