Привод вращения APR-08-200

Осуществляет вращение заслонки в вакуумной камере установки магнетронного напыления.

Привод выполнен как единый узел, включающий магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), шаговый двигатель FL57ST76-1506A, редуктор прецизионный EL060 1/50 FM и муфту упругую безлюфтовую SJCA-40C-RD 16*16.

Тандем двигателя и редуктора обеспечивают положение заслонки с точностью до 2,16 минут.

Применение в составе привода МЖУ позволяет обеспечить длительный ресурс изделия (до 10 лет) без необходимости обслуживания, высокую степень вакуума (до 1*10^-6Па) и низкое натекание (по гелию не более 10-12 м³Па/с).
Установочный диаметр вала для размещения заслонки 14мм.