Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Уплотнение магнитожидкостное APR-SE-F10/15

МЖУ, Ввод вращения, Вакуумный ввод, Магнитное уплотнение

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону.

Основные характеристики МЖУ:

-давление в шлюзовой камере не более 1*10-6Па;
-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм;
-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм;
-угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек;
-натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с. 

Прикрепленный файлРазмер
APR-SE-F10_15.jpg218.69 кб