Подложкодержатели

Диаметр обрабатываемых подложек до 200 мм.
Частота ВЧ-смещения - 13,56 МГц.
Температура нагрева образцов - до 400ºС.
Скорость вращения подложкодержателя - до 100 об/мин.

Характеристики подложкодержателей могут быть изменены по требованиям заказчика.