Новинки

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования.

Разработан для применения на Установке односторонней контактной сварки AVIO MCW-750 PG вместо штатных держателей, что позволяет использовать отечественные электроды ЭК1, ЭК2, ЭК3 установочным диаметром 3мм (диаметр свариваемой проволоки от 20 мкм).

Предназначен для вращения изделия в вакуумной камере в процессе вакуумно-дугового нанесения покрытий.

Для исключения передачи тепловой нагрузки, возникающей во время напыления, в приводе реализовано охлаждение вала.

Осуществляет вращение заслонки в вакуумной камере установки магнетронного напыления.

Привод выполнен как единый узел, включающий магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), шаговый двигатель FL57ST76-1506A, редуктор прецизионный EL060 1/50 FM и муфту упругую безлюфтовую SJCA-40C-RD 16*16.

Предназначен для ручного управления положением заслонки визуального наблюдения (открытие/закрытие заслонки окна) за процессом в реакторе.
С конструктивной точки зрения представляет собой нестандартное магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), на валу которого размещена ручка управления вращением, а корпус выполнен с переходом во фланец стандарта KF16.

Коаксиальный двухвальный ввод вращения (выполнен по соосной схеме).
Разработан под конструктив транспортной системы заказчика и обеспечивает передачу вращательных движений от приводов к загрузчику вакуумной камеры, тем самым обеспечивая радиальное и прямолинейное перемещение манипулятора при транспортировке кремниевых пластин из шлюза в технологический модуль. Применим в кластерных установках.

Узел вращения разработан и изготовлен согласно техническим требованиям заказчика. Конструктивно выполнен в виде картриджа, устанавливается на вакуумном оборудовании для передачи вращения в реактор.

Основные характеристики магнитожидкостного уплотнения:

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону.

Основные характеристики МЖУ:

-давление в шлюзовой камере не более 1*10^-6Па;
-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм;
-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм;
-угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек;
-натекание по гелию не более 10^-12 м³Па/с. 

Разработан по техническому заданию заказчика для применения в обрабатывающем оборудовании (абразивная шлифовка) в качестве исполнительного органа.
Предназначен для удерживания и перемещения заготовки в процессе шлифования. Имеет две поворотные и две линейные оси.

Основные характеристики:

-габариты узла: 440*470*216мм
-угол поворота заготовки по вертикальной оси +/- 180°
-угол поворота заготовки по горизонтальной оси =/- 45°
-привод оси вертикальной – шаговый двигатель с редуктором
-привод оси горизонтальной – червячный мотор-редуктор
-размер обрабатываемой заготовки: 60*60*30мм
-способ фиксации заготовки – вакуумный