Уплотнения магнитожидкостные

Разработано для применения в составе карусели вакуумной установки дугового напыления металлических плёнок на изделия. В процессе напыления изделие подвергается высокотемпературному нагреву, вследствие чего возникает необходимость отвода тепла от карусели.

Назначение: уплотнение электродвигателей 2АСВО, 3АСВО со стороны выходного конца вала с целью защиты внутренних частей электродвигателя от попадания в них влаги, паров и механических частиц во время эксплуатации, при стояночном режиме или при хранении на складе.

Магнитожидкостное уплотнение в вакуумную камеру установки магнетронного напыления.
Обеспечивает передачу вращения на карусель с напыляемыми пластинами.

МЖУ разработано с учётом конструктивных особенностей существующей вакуумной установки в качестве замены манжетного уплотнения, что позволило снизить натекание в рабочую камеру и увеличить ресурс уплотнения.

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования.

Коаксиальный двухвальный ввод вращения (выполнен по соосной схеме).
Разработан под конструктив транспортной системы заказчика и обеспечивает передачу вращательных движений от приводов к загрузчику вакуумной камеры, тем самым обеспечивая радиальное и прямолинейное перемещение манипулятора при транспортировке кремниевых пластин из шлюза в технологический модуль. Применим в кластерных установках.

Узел вращения разработан и изготовлен согласно техническим требованиям заказчика. Конструктивно выполнен в виде картриджа, устанавливается на вакуумном оборудовании для передачи вращения в реактор.

Основные характеристики магнитожидкостного уплотнения:

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону.

Основные характеристики МЖУ:

-давление в шлюзовой камере не более 1*10^-6Па;
-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм;
-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм;
-угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек;
-натекание по гелию не более 10^-12 м³Па/с. 

Тип крепления (монтажа) – картридж. Устанавливаются на вводы вращения.

Модельный ряд уплотнений (характеризуется диаметром уплотняемого вала):

- APR-MHC10 для вала Ø10мм
- APR-MHC20 для вала Ø20мм
- APR-MHC25 для вала Ø25мм
- APR-MHC30 для вала Ø30мм
- APR-MHC40 для вала Ø40мм
- APR-MHC50 для вала Ø50мм
- APR-MHC75 для вала Ø75мм 

Применяется на электродвигателях с целью защиты подшипников и других внутренних деталей двигателя от воздействия влаги и пыли, увеличивая его ресурс.

Герметизация двигателя осуществляется по вращающемуся валу. В основе принципа действия магнитожидкостного герметизатора лежит уникальное свойство ферромагнитной жидкости (компонент герметизатора) удерживаться в зазоре между подвижным и неподвижным узлом при помощи магнитного поля. 

Мы изготавливаем магнитожидкостные уплотнения (МЖУ), являющиеся аналогами известных зарубежных производителей, а также разрабатываем оригинальные вводы вращения по техническим требованиям заказчика. Наши основные заказчики – производители вакуумного технологического оборудования электронной промышленности.