Uncategorized

Диаметр обрабатываемых подложек до 200 мм.
Частота ВЧ-смещения - 13,56 МГц.
Температура нагрева образцов - до 400ºС.
Скорость вращения подложкодержателя - до 100 об/мин.

Характеристики подложкодержателей могут быть изменены по требованиям заказчика.

Применяются в установках вакуумного напыления.
Магнетроны предназначены для работы с плоскими круглыми мишенями и оснащены встроенной системой для подключения водяного охлаждения.

Модельный ряд MGT-C начинается с магнетронов под диаметр распыляемых мишеней 50 мм.

Возможно изготовление магнетронов под размер мишеней заказчика, а также оснащение опциями.