Уплотнение магнитожидкостное АП 14.000.00 | ООО «Аперон» - конструкторское бюро электронного машиностроения
Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Уплотнение магнитожидкостное АП 14.000.00

Вакуумное уплотнение, МЖУ

Сконструировано для вращения заслонкой в вакуумной камере реактора магнетронного напыления тонких плёнок.

Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает лёгкий поворот заслонки сохраняя высокую степень герметичности соединения.
Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.
Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.

Прикрепленный файлРазмер
AP_14.000.00VO_Vvod_vrashcheniya.pdf40.22 кб