Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Установка РИТ "Крукс"

ПХТ, РИТ, 08ПХО, 08ПХТ

Установка «КРУКС» относится к категории специального технологического оборудования микроэлектроники и предназначена для проведения процессов реактивного ионного травления (РИТ) полупроводниковых структур (тонких диэлектрических слоёв, полимерных и металлических плёнок) в плазме емкостного ВЧ-разряда химически активных газов.
Принцип действия установки основан на ионной бомбардировке поверхности материала (так называемое «сухое травление»), с последующим удалением образовавшихся летучих соединений из объёма реактора.
Тип реактора установки: РИТ
Диаметр обрабатываемых полупроводниковых пластин: 300мм/1шт, или 200мм/1шт, или 150мм/3шт, или 100мм/7шт.
Управление полуавтоматическое.

Характеристики:

Подложкодержатель водоохлаждаемый, неподвижный, с подводом высокочастотного напряжения (13,56 МГц);
Максимальная мощность генератора 1 кВт (нижний диапазон от 50 Вт);
Вакуумная откачка на базе механического пластинчато-роторного насоса;
Остаточное давление в реакторе не более 5 Па;
Рабочее давление в реакторе 10 - 50 Па;
Количество рабочих газовых линий 2 - 6 шт;
Электрическая мощность, потребляемая установкой, не более 3 кВт.

Опционально установка может комплектоваться турбомолекулярным насосом (соответственно, рабочее давление в реакторе 1 - 10 Па), ВЧ-генератором мощностью 3 кВт.

Простая в управлении, компактная установка реактивного ионного травления «КРУКС» разработана для применения в лабораториях и предприятиях в условиях мелкосерийного производства.