МЖУ АП 08.400.01 | ООО «Аперон» - конструкторское бюро электронного машиностроения
Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

МЖУ АП 08.400.01

ввод в вакуум, магнитное уплотнение

Магнитожидкостное уплотнение в вакуумную камеру установки магнетронного напыления.
Обеспечивает передачу вращения на карусель с напыляемыми пластинами.

МЖУ разработано с учётом конструктивных особенностей существующей вакуумной установки в качестве замены манжетного уплотнения, что позволило снизить натекание в рабочую камеру и увеличить ресурс уплотнения.

Характеристики:

-давление в шлюзовой камере не более 1*10-5 Па;

-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 10/17мм со шлицем 11мм;

-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 16мм;

-натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.