Привод вращения APR-08-200 | ООО «Аперон» - конструкторское бюро электронного машиностроения
Аперон – конструкторское бюро электронного машиностроения

Привод вращения APR-08-200

Ввод вращения, магнитожидкостный электропривод

Осуществляет вращение заслонки в вакуумной камере установки магнетронного напыления.

Привод выполнен как единый узел, включающий магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), шаговый двигатель FL57ST76-1506A, редуктор прецизионный EL060 1/50 FM и муфту упругую безлюфтовую SJCA-40C-RD 16*16.

Тандем двигателя и редуктора обеспечивают положение заслонки с точностью до 2,16 минут.

Применение в составе привода МЖУ позволяет обеспечить длительный ресурс изделия (до 10 лет) без необходимости обслуживания, высокую степень вакуума (до 1*10-6Па) и низкое натекание (по гелию не более 10-12 м3Па/с).
Установочный диаметр вала для размещения заслонки 14мм.

Прикрепленный файлРазмер
APR_08_200_00.jpg174.86 кб