Тел.: +7 (985) 723-13-33
mail: info@aperon.ru
г. Москва, Зеленоград
Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону.
Основные характеристики МЖУ:
-давление в шлюзовой камере не более 1*10-6Па;
-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм;
-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм;
-угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек;
-натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.
Прикрепленный файл | Размер |
---|---|
APR-SE-F10_15.jpg | 218.69 кб |