mail: info@aperon.ru г. Москва, Зеленоград
Диаметр обрабатываемых подложек до 200 мм. Частота ВЧ-смещения - 13,56 МГц. Температура нагрева образцов - до 400ºС. Скорость вращения подложкодержателя - до 100 об/мин.
Характеристики подложкодержателей могут быть изменены по требованиям заказчика.