Новинки

Привод вращения АП 08.400.00

Ввод вращения в вакуум, магнитожидкостный привод, МЖУ АП 08.400.00

Магнитожидкостный привод вращения АП 08.400.00 разработан и изготовлен в соответствии с техническими требованиями заказчика. Предназначен для вращения карусели в вакуумной камере технологического оборудования. Вращение привода обеспечивает бесколлекторный мотор-редуктор IG-80WGM-i117 под управлением блока BLSD-20.

Ввод вращения охлаждаемый АП 09.100.00

Ввод вращения в вакуум, МЖУ охлаждаемый, уплотнение охлаждаемое

Предназначен для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных при повышенных температурах в реакторе с сохранением герметичности подвижного соединения. Изделие представляет собой составную цилиндрическую конструкцию, объединяющую магнитожидкостное уплотнение и блок охлаждения.

МЖУ АП 09.200.00

Ввод вращения, МЖУ, вакуумный ввод, торцевое уплотнение

Магнитожидкостное уплотнение фланцевое АП 09.200.00 применяется для передачи вращения технологических узлов в Установках вакуумных с сохранением герметичности подвижного соединения. МЖУ имеет фланец для крепления через уплотнительное кольцо к полированной поверхности камеры (реактора) вакуумного технологического оборудования.

Держатель электродов ЭК2 (адаптер)

держатель для AVIO MCW-750, для электродов ЭК2, адаптер Avio

Разработан для применения на Установке односторонней контактной сварки AVIO MCW-750 PG вместо штатных держателей, что позволяет использовать отечественные электроды ЭК1, ЭК2, ЭК3 установочным диаметром 3мм (диаметр свариваемой проволоки от 20 мкм).

Привод вращения охлаждаемый APR-08-100

охлаждаемое МЖУ, вакуумный привод

Предназначен для вращения изделия в вакуумной камере в процессе вакуумно-дугового нанесения покрытий.

Для исключения передачи тепловой нагрузки, возникающей во время напыления, в приводе реализовано охлаждение вала.

Привод вращения APR-08-200

Ввод вращения, магнитожидкостный электропривод

Осуществляет вращение заслонки в вакуумной камере установки магнетронного напыления.

Привод выполнен как единый узел, включающий магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), шаговый двигатель FL57ST76-1506A, редуктор прецизионный EL060 1/50 FM и муфту упругую безлюфтовую SJCA-40C-RD 16*16.

Привод вращения ручной APR-08-300

привод магнитожидкостный, привод заслонки

Предназначен для ручного управления положением заслонки визуального наблюдения (открытие/закрытие заслонки окна) за процессом в реакторе.
С конструктивной точки зрения представляет собой нестандартное магнитожидкостное уплотнение (МЖУ), на валу которого размещена ручка управления вращением, а корпус выполнен с переходом во фланец стандарта KF16.

Уплотнение магнитожидкостное APR-SE-COAX 12/15-48/34

вакуумный ввод вращения, соосный МЖУ

Коаксиальный двухвальный ввод вращения (выполнен по соосной схеме).
Разработан под конструктив транспортной системы заказчика и обеспечивает передачу вращательных движений от приводов к загрузчику вакуумной камеры, тем самым обеспечивая радиальное и прямолинейное перемещение манипулятора при транспортировке кремниевых пластин из шлюза в технологический модуль. Применим в кластерных установках.

Уплотнение магнитожидкостное APR-SE-K24

МЖУ APR-SE-K24, ввод вращения картридж, вакуумный ввод

Узел вращения разработан и изготовлен согласно техническим требованиям заказчика. Конструктивно выполнен в виде картриджа, устанавливается на вакуумном оборудовании для передачи вращения в реактор.

Основные характеристики магнитожидкостного уплотнения:

Уплотнение магнитожидкостное APR-SE-F10/15

МЖУ, Ввод вращения, Вакуумный ввод, Магнитное уплотнение

Разработано в соответствии с техническими требованиями заказчика для применения в манипуляторе шлюзовой камеры установки плазмо-химического травления. Обеспечивает передачу вращения в высоковакуумную зону.

Основные характеристики МЖУ:

-давление в шлюзовой камере не более 1*10-6Па;
-диаметр вала МЖУ со стороны шлюзовой камеры 15мм;
-диаметр вала МЖУ со стороны "атмосферы" 10мм;
-угловая скорость вращения вала не более 40 об/сек;
-натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.